Organosilicon trung gian · Chất silyl hóa
Hexamethyldisilazane (HMDS)
(Bis(trimetylsilyl)amin / HMDS khan)
| Số CAS | 999-97-3 |
| Tên IUPAC | 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazan |
| từ đồng nghĩa | HMDS, hexa metyl disilazan, 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazan, bis(trimethylsilyl)amin, hexamethylsilazane, N-(trimethylsilyl)trimethylsilylamine |
| Công thức phân tử | C₆H₁₉NSi₂ [(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃] |
| Trọng lượng phân tử | 161,39 g/mol |
| Mã HS | 2931900090 |
| Lớp có sẵn | Công nghiệp Dược phẩm Điện tử (5N/6N) |
Hexamethyldisilazane (HMDS) là gì? Tổng quan
Hexamethyldisilazane (HMDS), cũng được viết làhexa metyl disilazanhoặc1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazan(CAS 999-97-3), là hợp chất organosilicon không màu, dễ bay hơi với mùi giống amoniac đặc trưng.Mẫu HMDS đầy đủ:Hexamethyldisilazane - tên phản ánh cấu trúc của hai nhóm trimethylsilyl được bắc cầu bởi một nguyên tử nitơ:(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Cấu trúc disilazane độc đáo này cho phép quá trình sily hóa hiệu quả các nhóm chức protic (hydroxyl, amino, carboxyl) và khả năng kỵ nước bề mặt vượt trội, khiến HMDS trở thành thuốc thử hóa học không thể thay thế trong kỹ thuật in thạch bản bán dẫn, tổng hợp dược phẩm, vật liệu tiên tiến và các ngành công nghiệp xử lý bề mặt.
Không giống như các tác nhân silyl hóa truyền thống như trimethylchlorosilane (TMCS), HMDS cung cấp các điều kiện phản ứng nhẹ hơn, hiệu suất silyl hóa cao hơn và các lợi thế quan trọng về-thế hệ sản phẩm - thấp hơn đáng kể cho ngành sản xuất-cao cấp, nơi yêu cầu độ tinh khiết nghiêm ngặt và độ sạch của quy trình. HMDS phản ứng nhanh với độ ẩm để giải phóng amoniac, vì vậy tất cả các loại phải được xử lý và bảo quản trong điều kiện bảo vệ bằng nitơ.
Chúng tôi hợp tác với các nhà sản xuất hàng đầu Trung Quốc - bao gồm các cơ sở được chứng nhận bởi SMIC và Yangtze Memory - để cung cấp HMDS cấp công nghiệp, dược phẩm và điện tử với giá cạnh tranh, với cách đóng gói linh hoạt từ thùng thuốc thử cấp gam-đến hộp đựng IBC công nghiệp, phục vụ người mua ở Châu Âu, Bắc Mỹ, Đông Nam Á và Trung Đông.
Tính chất vật lý và hóa học của HMDS
Thông số kỹ thuật HMDS - Tất cả các lớp
| Đặc điểm kỹ thuật | Cấp công nghiệp Xử lý bề mặt / Chất độn |
Lớp dược phẩm Tổng hợp thuốc (GMP) |
Lớp điện tử In thạch bản bán dẫn |
|---|---|---|---|
| Độ tinh khiết (GC) | Lớn hơn hoặc bằng 98,0% | Lớn hơn hoặc bằng 99,5% | Lớn hơn hoặc bằng 99,999% (5N) lên tới 6N cho các nút nâng cao |
| Hàm lượng nước | Nhỏ hơn hoặc bằng 0,1% | Nhỏ hơn hoặc bằng 0,02% | Nhỏ hơn hoặc bằng 0,005% (Nhỏ hơn hoặc bằng 50 ppm) |
| Màu sắc (Pt-Co) | Nhỏ hơn hoặc bằng 30 | Nhỏ hơn hoặc bằng 10 | Nhỏ hơn hoặc bằng 5 |
| Điểm sôi | 125–127 độ | 126,0–126,5 độ | 126,2 ± 0,2 độ |
| Điểm chớp cháy | 17 độ (cốc kín) | 17 độ (cốc kín) | 17 độ (cốc kín) |
| Tạp chất kim loại | Không được chỉ định | Ion đơn Nhỏ hơn hoặc bằng 10 ppm | Ion đơn Nhỏ hơn hoặc bằng 1 ppb (mức ppt cho các nút 14nm) |
| Hạn sử dụng | 6 tháng (N₂-niêm phong) | 12 tháng (N₂-niêm phong, tối) | 18 tháng (niêm phong-siêu sạch N₂-) |
| Bao bì | Trống thép 180 kg Tote IBC 1000 kg |
Thùng phuy HDPE 20L Thùng thép kín 200L N₂- |
Trống lót thạch anh 10L{1}} Thùng thép siêu sạch 200L- |
Tuân thủ GB/T 30301-2013, REACH & TSCA. COA, SDS/MSDS và báo cáo thử nghiệm của bên thứ ba có sẵn theo yêu cầu.
Các trường ứng dụng và sử dụng HMDS
1. Chất in thạch bản bán dẫn - Chất tăng cường độ bám dính chất quang học
HMDS là-tiêu chuẩn ngànhchất kích thích bám dính, chất lót và chất phủ kỵ nướctrong kỹ thuật in thạch bản wafer silicon, chiếm hơn40% tổng lượng tiêu thụ HMDS. Được sử dụng làm lớp lót pha hơi-(VPP) trước lớp phủ quang học, HMDS phản ứng với các nhóm hydroxyl bề mặt (Si–OH) trên tấm bán dẫn để tạo thành lớp trimethylsilyl kỵ nước dày đặc. Điều này cải thiện đáng kể độ bám dính của chất cản quang, ngăn ngừa hiện tượng bong tróc trong quá trình phát triển và loại bỏ sự hình thành hạt ở cạnh - đảm bảo tạo khuôn mạch chính xác đến từng chi tiếtCác nút 28nm trở xuống.
Khi các nút bán dẫn tiên tiến tiến tới 14nm, 7nm và hơn thế nữa, các yêu cầu về độ tinh khiết đã tăng lên đếnLớp 5N (99,999%) và 6N, với tạp chất kim loại được kiểm soát ở mức ppb-ppt. Các sản phẩm HMDS{1}}điện tử của chúng tôi sử dụng công nghệ loại bỏ kim loại vi lượng tiên tiến, đáp ứng các tiêu chuẩn chất lượng của các nhà máy hàng đầu bao gồm SMIC, Bộ nhớ Yangtze, Bộ nhớ Changxin và UMC.
Thẩm quyền giải quyết:Tiêu chuẩn SEMI - Độ tinh khiết của vật liệu bán dẫn ↗
2. Công nghiệp dược phẩm - Chất silylating để tổng hợp thuốc
Trong tổng hợp dược phẩm, HMDS được sử dụng rộng rãi như một chấtchất silyl hóađể bảo vệ các nhóm chức protic phản ứng (–OH, –NH₂, –COOH) trong chất trung gian thuốc, ngăn ngừa các phản ứng phụ không mong muốn và cải thiện đáng kể độ chọn lọc của phản ứng cũng như hiệu suất sản phẩm mục tiêu. Nó là thuốc thử quan trọng trong quá trình tổng hợp các thành phần dược phẩm có hoạt tính chống{1}}khối u, kháng virus và chống dị ứng (API).
HMDS cấp dược phẩm của chúng tôi (Độ tinh khiết lớn hơn hoặc bằng 99,5%, tương thích với GMP) đã được các doanh nghiệp CDMO dược phẩm hàng đầu xác nhận và cung cấp chất lượng lô ổn định cần thiết cho hoạt động R&D thuốc và sản xuất quy mô lớn-.
Thẩm quyền giải quyết:Dược điển Hoa Kỳ (USP) ↗
3. Vật liệu & Xử lý bề mặt - Chất kỵ nước
HMDS là một giải pháp có hiệu quả caochất kỵ nướccho các chất độn vô cơ như silica bốc khói và titan dioxide. Việc biến đổi bề mặt bằng HMDS cải thiện đáng kể khả năng tương thích ma trận chất độn trong vật liệu tổng hợp cao su silicon và nhựa epoxy, tăng cường các tính chất cơ học (độ dẻo dai, độ bền kéo) và khả năng chống chịu thời tiết. Nó được sử dụng rộng rãi trong các vật liệu bao bọc OLED và xử lý kính mô-đun quang điện, trong đó các bề mặt được biến đổi HMDS{2}}cho thấy hiệu suất chống ẩm được cải thiện rõ rệt, kéo dài tuổi thọ sử dụng trong môi trường ngoài trời khắc nghiệt.
VìXử lý bề mặt thủy tinh, gốm sứ và kim loại, HMDS tạo thành một màng kỵ nước liên kết cộng hóa trị dày đặc, ngăn chặn sự hấp thụ độ ẩm và ăn mòn.
Thẩm quyền giải quyết:PubChem - Hexamethyldisilazane (NIH) ↗
4. Hóa phân tích & Hóa chất tinh khiết
Trong hóa học phân tích, HMDS được sử dụng như một chấtthuốc thử tạo dẫn xuấtđể phân tích GC các hợp chất protic (rượu, phenol, axit cacboxylic). Các dẫn xuất silyl hóa có độ bay hơi cao hơn và khả năng phân tách sắc ký được cải thiện, cho phép phân tích định lượng chính xác các chất dạng vết trong nền mẫu phức tạp.
Trong hóa chất tinh khiết, HMDS đóng vai trò là chất trung gian cho-chất hoạt động bề mặt silicon cao cấp và nhựa silicon được sử dụng trong hóa chất hàng ngày và in ấn trên vải. Thị trường HMDS cấp điện tử-dự kiến sẽ tăng trưởng với tốc độ CAGR là 18,3% cho đến năm 2026, nhờ đẩy nhanh quá trình nội địa hóa chất bán dẫn và mở rộng công suất CDMO dược phẩm.
Thẩm quyền giải quyết:Đăng ký ECHA REACH - HMDS ↗
5. HMDS làm cơ sở - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS
Ngoài vai trò là tác nhân silyl hóa, HMDS còn là tiền thân quan trọng của bazơ amit kim loại được sử dụng rộng rãi:LiHMDS(lithium hexamethyldisilazide, lithium bis(trimetylsilyl)amit),NaHMDS(natri hexamethyldisilazide), vàKHMDS(kali hexamethyldisilazide). Các bazơ mạnh, bị cản trở này là những thuốc thử thiết yếu trong tổng hợp dược phẩm và hóa học tinh tế để hình thành enolate có chọn lọc, khử proton có hướng và các phản ứng không đối xứng trong đó khối lượng lớn và tính chọn lọc hóa học là rất quan trọng.
LiHMDS(CAS 4039-32-1) được sử dụng rộng rãi nhất, được đánh giá cao vì tính bazơ cao (pKa ~30 in THF) và khả năng hòa tan tuyệt vời trong dung môi ether.NaHMDSVàKHMDSmang lại khả năng phản ứng ngày càng tăng và được sử dụng khi LiHMDS phản ứng không đủ. Cả ba đều được sản xuất từ HMDS làm nguyên liệu ban đầu chính, khiến cho việc cung cấp HMDS có độ tinh khiết cao trở nên quan trọng đối với hoạt động sản xuất của chúng.
Chúng tôi cung cấp HMDS có độ tinh khiết cao- thích hợp làm nguyên liệu cho quá trình sản xuất LiHMDS, NaHMDS và KHMDS. Liên hệ với chúng tôi để biết thông số kỹ thuật số lượng lớn.
HMDS được tạo ra như thế nào? Quy trình sản xuất
HMDS được sản xuất thương mại thông qua hai con đường chính. truyền thốngquá trình phân giải ammon clorosilanephản ứng trimethylchlorosilane (TMCS) với lượng amoniac dư: 2 (CH₃)₃SiCl + NH₃ → (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + 2 HCl. Sản phẩm phụ HCl được trung hòa và sản phẩm thô được tinh chế bằng quá trình tinh chỉnh nhiều giai đoạn. Một sự thay thếcông nghệ truyền xanhsử dụng hexamethyldisiloxane (HMDSO) và amoniac trong điều kiện xúc tác, làm giảm-sản phẩm clorua và tác động đến môi trường.
Các nhà sản xuất đối tác của chúng tôi vận hành dây chuyền sản xuất phân giải ammon liên tục với hệ thống lọc hấp phụ và tinh chỉnh sàng phân tử nhiều{0}}giai đoạn, mang lại độ tinh khiết nhất quán từ mẻ này sang mẻ khác ở tất cả các cấp.
Lưu trữ, ổn định và xử lý an toàn HMDS
Yêu cầu lưu trữ
Bảo quản ở nơi mát mẻ (0–25 độ ), khô ráo,-thông gió tốtnhà kho chống cháy nổ-tránh xa nguồn nhiệt, ngọn lửa trần và ánh nắng trực tiếp. Tất cả bao bì phải được bọc kín bằng nitơ-để cách ly độ ẩm và không khí - HMDS thủy phân nhanh chóng khi tiếp xúc với độ ẩm xung quanh. Cấp công nghiệp: thùng phuy bằng thép kín nitơ-. Cấp dược phẩm và điện tử: thùng lót-nitơ siêu sạch-HDPE hoặc thạch anh{8}}được bọc kín bằng nitơ (bao bì sạch ISO 14644 dành cho cấp điện tử). Tách biệt khỏi các chất oxy hóa và axit mạnh bằng khoảng cách tối thiểu 20-foot hoặc rào chắn chống cháy-30-phút. Xếp chồng tối đa: 2 lớp cho thùng thép 180 kg. Trang bị cho nhà kho hệ thống chiếu sáng chống cháy nổ và bình chữa cháy bằng bột khô hoặc CO₂.
Lưu ý về độ ổn định
HMDS ổn định về mặt hóa học khi được bảo quản khô và có nitơ. Tiếp xúc với độ ẩm gây thủy phân; tiếp xúc với axit mạnh hoặc chất oxy hóa có thể gây ra phản ứng dữ dội. Tránh tiếp xúc kéo dài với nhiệt độ trên 30 độ để tránh sự bay hơi nhanh.
An toàn & Xử lý (Tóm tắt SDS / MSDS)
Yêu cầu về PPE:Quần áo-chống tĩnh điện, găng tay cao su nitrile (ba{1}}lớp dành cho các hoạt động có-rủi ro cao), kính bảo hộ an toàn hóa chất, tấm che mặt và mặt nạ phòng độc hơi hữu cơ (SCBA dành cho không gian hạn chế). Không ăn, uống hoặc hút thuốc trong quá trình hoạt động.
Phản ứng tràn:Cắt ngay các nguồn gây cháy, sơ tán theo chiều gió. Cô lập khu vực tràn đổ. Hấp thụ bằng cát khô hoặc tro soda - KHÔNG sử dụng nước. Chuyển vật liệu đã hấp thụ vào thùng chứa kín để xử lý. Không xả vào cống rãnh hoặc đất.
Sơ cứu:Da - cởi bỏ quần áo bị ô nhiễm, rửa bằng xà phòng và nước trong thời gian lớn hơn hoặc bằng 15 phút. Mắt - xối nước trong thời gian lớn hơn hoặc bằng 15 phút, hãy tìm kiếm sự chăm sóc y tế. Hít vào - chuyển sang không khí trong lành ngay lập tức. Nuốt phải - không gây nôn; tìm kiếm sự chăm sóc y tế khẩn cấp. Bản PDF SDS/MSDS đầy đủ có sẵn từ đội ngũ bán hàng của chúng tôi.
Giá HMDS - 2025 Tham khảo thị trường
cácgiá HMDS(giá hexamethyldisilazane) thay đổi đáng kể tùy theo cấp độ tinh khiết, đặc điểm kỹ thuật đóng gói và khối lượng đặt hàng. Sau đây là giá tham chiếu mang tính biểu thị năm 2025 cho sản phẩm có nguồn gốc từ Trung Quốc-(xuất xưởng-):
Lớn hơn hoặc bằng 98,0%
Lớn hơn hoặc bằng 99,5%
Lớn hơn hoặc bằng 99,999% (5N)
Câu hỏi thường gặp về HMDS
Hỏi: HMDS có nghĩa là gì? HMDS dạng đầy đủ là gì?
HMDS là viết tắt củaHexamethyldisilazane- tên hóa học đầy đủ là 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane, còn được viết là hexa methyl disilazane. Trong hóa học, HMDS đặc biệt đề cập đến hợp chất organosilicon này (CAS 999-97-3) có cấu trúc (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Lưu ý: "HMDS" cũng được sử dụng làm từ viết tắt trong các lĩnh vực không liên quan (ví dụ: ngữ cảnh y tế, quân sự hoặc nông nghiệp), nhưng trong ngữ cảnh hóa học và sản xuất chất bán dẫn, HMDS luôn có nghĩa là hexamethyldisilazane.
Hỏi: HMDS được sử dụng để làm gì trong sản xuất chất bán dẫn?
HMDS được sử dụng làm chất xúc tác bám dính pha hơi-(sơn lót) được áp dụng cho các bề mặt tấm bán dẫn silicon trước khi phủ chất cản quang. Nó phản ứng với các nhóm Si–OH bề mặt để tạo thành lớp đơn trimethylsilyl kỵ nước, giúp cải thiện đáng kể độ bám dính của chất quang dẫn, ngăn ngừa sự phân tách trong quá trình phát triển ướt và đảm bảo độ chính xác về chiều của các mẫu mạch mịn. Đây là vật liệu xử lý tiêu chuẩn ở hầu hết mọi nhà máy sản xuất tấm bán dẫn silicon trên toàn cầu, từ các dây chuyền in thạch bản EUV 200mm truyền thống đến-edge 300mm hàng đầu.
Câu hỏi: Sự khác biệt giữa HMDS cấp công nghiệp và cấp điện tử là gì?
Cấp công nghiệp (Lớn hơn hoặc bằng 98,0%) phù hợp để xử lý bề mặt các chất độn (silica bốc khói, TiO₂), lớp phủ và các ứng dụng silyl hóa chung trong đó hàm lượng vết kim loại không quan trọng. Cấp điện tử ( Lớn hơn hoặc bằng 99,999%, 5N) yêu cầu tạp chất kim loại riêng lẻ dưới 1 ppb - bắt buộc đối với kỹ thuật in thạch bản bán dẫn trong đó ô nhiễm kim loại dưới{6}}ppb sẽ gây ra lỗi thiết bị. Cấp điện tử được đóng gói trong điều kiện cực kỳ sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644 trong thạch anh-có lớp lót hoặc được chứng nhận{11}}thép siêu sạch, với mỗi lô đi kèm với báo cáo kim loại vết ICP-MS đầy đủ.
Hỏi: Tại sao HMDS phản ứng với nước và nên bảo quản nó như thế nào?
HMDS chứa liên kết Si–N–Si rất dễ bị thủy phân: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. Amoniac được giải phóng tạo ra sự tích tụ áp suất trong các thùng chứa kín và tạo ra hexamethyldisiloxane (HMDSO) làm ô nhiễm sản phẩm. Do đó, tất cả các loại phải được bảo quản dưới nitơ khô trong thùng kín, ở nhiệt độ 0–25 độ, cách xa mọi nguồn ẩm. Các thùng chứa đã mở phải được-đậy kín lại ngay lập tức và phủ nitơ sau mỗi lần sử dụng.
Câu hỏi: HMDS là gì và nó khác với HMDSO như thế nào?
HMDS (hexamethyldisilazane, CAS 999-97-3) chứa liên kết Si–N–Si và là thuốc thử silyl hóa hoạt động. HMDSO (hexamethyldisiloxane, CAS 107-46-0) chứa liên kết Si–O–Si và là sản phẩm phụ thủy phân của HMDS - nó ít phản ứng hơn nhiều. HMDS được sử dụng làm chất biến tính bề mặt hóa học và thuốc thử silyl hóa; HMDSO được sử dụng chủ yếu làm chất lỏng silicon không phản ứng và nguyên liệu thô để tổng hợp HMDS. Không nên nhầm lẫn cả hai khi chỉ định vật liệu cho quy trình in thạch bản hoặc dược phẩm.
Câu hỏi: Tôi nên yêu cầu những chứng nhận nào từ nhà cung cấp HMDS?
Dành cho ứng dụng công nghiệp: ISO 9001 (quản lý chất lượng) và ISO 14001 (môi trường). Đối với cấp dược phẩm: tuân thủ GMP, khả năng cung cấp USP/EP-COA tham chiếu và báo cáo QC của bên-thứ ba. Đối với cấp điện tử: xác nhận về trình độ chuyên môn của nhà máy bán dẫn hạ nguồn (ví dụ: chứng nhận SMIC, UMC), tuân thủ tiêu chuẩn SEMI F47 hoặc vật liệu tương đương, báo cáo kim loại vi lượng MS-ICP đầy đủ cho mỗi lô và bao bì sạch được chứng nhận ISO 14644. Tất cả các loại phải có đăng ký REACH và TSCA hiện hành để xuất khẩu quốc tế.
Hỏi: Điều gì xảy ra khi HMDS phản ứng với nước?
HMDS phản ứng nhanh với nước thông qua quá trình thủy phân: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH → (CH₃)₃Si–O–Si(CH₃)₃ + NH₃. Sản phẩm là hexamethyldisiloxane (HMDSO) và amoniac. Phản ứng này tỏa nhiệt và tạo ra khí amoniac, tạo ra áp suất trong các thùng chứa kín và làm giảm độ tinh khiết của sản phẩm. Đây là lý do tại sao tất cả các loại HMDS - bao gồm cả - công nghiệp phải luôn được lưu trữ và xử lý trong điều kiện nitơ khô. Ngay cả độ ẩm xung quanh cũng có thể bắt đầu quá trình thủy phân chậm trong thời gian bảo quản kéo dài.
Câu hỏi: Các lựa chọn thay thế chính cho HMDS là gì và khi nào HMDS được ưu tiên hơn?
Các chất thay thế tác nhân silyl hóa phổ biến bao gồm trimethylchlorosilane (TMCS), N-methyl-N-trimethylsilylacetamide (MSA) và N,O-bis(trimethylsilyl)acetamide (BSA). HMDS được ưu tiên sử dụng khi cần có điều kiện phản ứng nhẹ (không có-sản phẩm HCl), khi hiệu suất silyl hóa cao là rất quan trọng hoặc khi quy trình yêu cầu mức độ nhiễm bẩn tối thiểu từ các-sản phẩm có tính axit hoặc ăn mòn -, khiến HMDS trở thành lựa chọn tiêu chuẩn để xử lý tấm bán dẫn và tổng hợp dược phẩm. Đối với quá trình kỵ nước công nghiệp số lượng lớn trong đó chi phí là yếu tố chính, TMCS có thể được sử dụng như một giải pháp thay thế có chi phí-thấp hơn.
Tài liệu tham khảo & tiêu chuẩn ngành
Đặc tính hóa lý toàn diện, dữ liệu độc tính, phân loại GHS và thông tin quy định.
Cơ quan tiêu chuẩn quốc tế về các thông số kỹ thuật và quy định về độ tinh khiết của vật liệu bán dẫn.
Hồ sơ REACH chính thức của EU: phân loại mối nguy hiểm, kịch bản phơi nhiễm và tình trạng quản lý.
Cơ quan có thẩm quyền toàn cầu về thuốc thử phân tích và thuốc thử có độ tinh khiết cao-; tiêu chuẩn tham chiếu cho việc đánh giá chất lượng HMDS.
Nhận báo giá · Tư vấn kỹ thuật
Yêu cầu hỗ trợ về giá và sản phẩm của HMDS
Chúng tôi cung cấp HMDS cấp công nghiệp, dược phẩm và điện tử (CAS 999-97-3) với giá cả cạnh tranh và bao bì linh hoạt. Hãy liên hệ với nhóm của chúng tôi để nhận báo giá phù hợp, SDS/MSDS hoặc hướng dẫn ứng dụng.
Sản phẩm liên quan: Trimethylchlorosilane (TMCS) · Hexamethyldisiloxane (HMDSO) · Các chất trung gian Organosilicon khác
Chú phổ biến: hexamethyldisilazane, nhà sản xuất, nhà cung cấp hexamethyldisilazane Trung Quốc
